近日，2023年长三角产业计量技术创新挑战赛获奖名单公布,苏州市计量测试院获评三项奖励。此次赛事由沪苏浙皖三省一市市场监管局联合举办，分为需求征集、揭榜挂帅、线上线下对接、方案征集、现场赛事等多个阶段。
作为江苏省计量技术机构代表之一的苏州市市场监管局直属事业单位苏州市计量测试院积极参与技术创新挑战赛，揭榜需求方提出的产业计量需求，积极与需求单位深入交流，针对关键难题提供技术路径和解决方案，其中，硅片几何参数高精度测量、液氮罐分布验证、超高效过滤器制造优化及检测应用三项技术服务以专业的技术能力和服务水平获得需求单位和组织方的高度认可，荣获“最佳供需对接代表奖”“最佳产业服务机构奖”“最佳活动组织单位奖”。苏州市计量测试院温度计量检测部部长韦维和检测型评事业部副部长厉龙入选产业计量云（长三角）平台第二批入驻专家名单。
硅片几何参数高精度测量
苏州汉骅半导体有限责任公司遇到硅片几何关键参数测量方法不统一、测量准确度不高、溯源链不完整难题。
针对企业需求，苏州市计量测试院给出了对应解决方案：采用一对高精度的长度计，通过差分测量方法，建立一套高精度的硅片几何参量关键测试系统，研制硅片标准片，实现硅片几何测试系统的校准及溯源。该方案可推广应用到市场上的硅片厚度测试仪器计量，推动高精度硅片厚度测试仪的国产化进程，解决制约中国半导体制造行业发展的“卡脖子”难题，进一步拓展高端芯片市场，摆脱欧美日的制约。
液氮罐分布验证
辉士尔医药技术（苏州）有限公司遇到的难题是内部使用液氮罐的液氮量受液氮易挥发性、箱体密封性等因素影响，液氮罐在液氮量减少的情况下，其罐内液氮温度是否依然能满足储存样品的需求。
针对企业需求，苏州市计量测试院从温度均匀性分布测试、开盖作业时间控制方面提供了详细的技术方案，同时为企业选择合适的标准器，确保储存样品时液氮罐温度满足其工艺要求。此次“液氮罐温度分布验证”对后续其他相关行业使用液氮罐的校准或验证服务提供了很好的借鉴经验，为冷链物流、食品安全、医药健康等提供了可靠的技术支撑。
超高效过滤器制造优化及检测应用
苏州悠远环境科技有限公司遇到的挑战是应用于电子半导体制造的超高效过滤器在效率、阻力性能优化方面需要进一步加强，缩短与国外产品的差距；在产品的出厂检测方面，公司希望在不大幅改变现有硬件的前提下，提高效率和阻力检测精度，保障产品质量。
针对企业需求，苏州市计量测试院确定了以检测数据获取和应用为核心的“一站式”解决方案。目前，该方案已应用在苏州悠远环境科技有限公司超高效过滤器产品的生产和检测中，有效提升了超高效过滤器的产品质量和检测效能，为微电子、半导体等精密制造业提供高洁净度的环境保障。
今年以来，苏州市计量测试院紧紧围绕产业计量需求，加快计量技术创新及科技成果转化，以实际行动响应长三角区域一体化发展国家战略和国务院《计量发展规划（2021—2035年）》，通过加强先进测量能力建设，赋能产业高质量发展。
下一步，苏州市计量测试院将积极组织各产业计量测试中心和质检中心参加长三角产业计量技术创新挑战等产检共融活动，以企业“挂榜”需求为目标，努力提升相关领域计量测试能力并积极参与“揭榜”，在为企业解决技术难题的同时，进一步推进计量与产业融合创新发展，实现产检互助共赢。（作者：邓小伟）
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